本月早些时候,SK海力士在其DRAM生产晶圆厂之一遇到了问题,原因是生产中使用的锆高k材料中的杂质。这些材料由SK Trichem提供,由于杂质,SK海力士晶圆厂的设备最终导致一些制造设备的压力增加,并迫使生产关闭。晶圆厂的所有设备都必须清洁,有些设备甚至由于材料中的杂质而更换。
锆高k材料作为前驱体在原子水平上沉积在DRAM的电容器顶部。根据SK海力士的说法,这种材料中的任何杂质都会导致DRAM芯片失效,但显然在这种情况下,DRAM晶圆生产没有受到损害。该公司目前将从另外两家供应商处订购替换材料,SK Trichem应在月底前提供一批新材料。